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        新聞

        當前位置:

        壓電驅動納米位移臺應用領域

        壓電驅動納米位移臺的出現,解決了傳統納米臺行程小而微米電動臺分辯精度不高的問題。在科研市場、半導體市場、先進制造業、生物醫藥行業、光學、通信等領域已廣泛應用。
        納米位移臺的工作原理
        納米位移臺主要采用運動控制,由光、機、電、控制軟件等多領域技術集成的運動控制技術。
        內部由一個或多個壓電陶瓷作為驅動,其產生單軸或者多軸的運動;通過柔性鉸鏈技術將壓電陶瓷產生的運動傳遞和放大;經電容傳感器將運動信息傳遞給控制系統,再由控制系統對該運動進行修正、補償和控制;在對運動系統進行閉環控制時,可實現納米、亞納米級別的運動分辨率和運動控制精度。

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