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長時間運行后判斷納米位移臺是否存在機械磨損，通常可從以下幾個維度進行檢測和分析：
一、性能變化檢測
定位重復精度降低
原點重復返回偏差增大；
同一目標位置多次定位出現偏差，可能表明導軌或驅動機構磨損。
最小步進分辨率變差
微小指令無法被精確執行，或者存在不連續運動；
滑動/滾動部件存在微小松動或表面損傷。
運行噪音增大
運動過程中出現異常雜音或不規則摩擦聲；
反映滾珠絲杠、導軌或壓電執行機構存在磨耗或潤滑不足。
回程間隙變化
正向與反向運動間的位置偏差（backlash）增大；
表明機械連接部位松動或絲杠副/導軌副磨損。
二、振動與加速度分析
使用激光干涉儀或高分辨率加速度傳感器記錄運動過程中的微振動；
若頻譜中出現新頻率分量或共振頻率偏移，可能意味著結構磨損或松動。
三、熱漂移與非線性誤差增大
長時間掃描后，發現漂移量隨運行時間明顯上升，尤其在恒定環境溫度下；
磨損導致摩擦特性變化，進而引起熱積累模式改變。
四、目視與顯微檢查（停機后）
關閉系統后，使用光學顯微鏡或掃描電鏡（如可拆卸部件）檢查以下部位：
滑軌表面是否有劃痕、壓痕；
軸承、導軌、滑塊是否有磨耗顆粒、潤滑干涸現象；
螺母與絲杠接觸處是否出現偏心或金屬粉末。
五、位移傳感器輸出異常分析
檢查閉環反饋中編碼器、干涉儀等輸出信號的線性度是否下降；
比如產生周期性波動，可能由驅動機構周期性磨損導致。
六、校準曲線偏移
使用標準位移樣本進行標定，對比歷史校準曲線；
若單位電壓對應位移出現明顯偏移，說明機械/電氣系統某處性能變化。