
如何判斷納米位移臺是否需要重新校準?
判斷納米位移臺是否需要重新校準,通??梢詮囊韵聨讉€方面入手:
1. 定位精度出現下降
如果你發現以下現象,可能說明校準已經偏離標準:
位移臺移動到某一預設坐標點后,實際位置偏差超出規格要求(比如超過納米級誤差容限);
多次移動到同一點,重復定位的偏差變大;
掃描圖像出現明顯錯位或畸變,尤其在大范圍掃描或多次返回同一位置時。
2. 反饋位置與實際位置不符
當使用閉環傳感器(如電容傳感器、光學編碼器)進行反饋控制時,如果控制軟件顯示的位置與顯微鏡、干涉儀等實際觀測位置不一致,說明可能需要重新校準。
3. 環境或系統發生變化
下列情況發生后建議進行校準:
位移臺長期未使用或經過長時間運行;
系統經歷過搬運、震動、溫度變化、潮濕等外界干擾;
更換了控制器、傳感器或樣品托盤;
固件或軟件升級之后,位移模型發生變化。
4. 系統自檢提示或誤差累積
有些控制系統(如使用數字信號處理器的控制器)會在初始化或運行中提供自檢誤差報告或校準建議;
如果你運行定位路徑后,累計誤差隨路徑延長而變大,也可能是因為線性比例、偏移、非線性補償失效,需要重新標定。
5. 定期維護計劃中規定的周期
高精度位移系統一般建議定期校準(例如每半年或一年一次),尤其在對結果精度有嚴格要求的應用場景(如納米定位、掃描成像、微納加工等)中更為重要。