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在納米位移臺操作中，樣品安裝時的應力會顯著影響測量精度和樣品完整性。以下是避免應力影響的關鍵方法，以清晰條目式呈現：
一、樣品預處理
表面平整化
對剛性樣品（如硅片）進行機械或化學拋光，確保安裝面粗糙度＜1μm。
柔性樣品（如薄膜）可貼合在預拉伸的彈性基底上，釋放后自然展平。
尺寸適配
樣品尺寸需略小于載物臺，邊緣預留0.5~1mm間隙，避免擠壓變形。
二、安裝方式優化
粘接劑選擇
導電銀膠：適合金屬樣品，薄層涂抹（＜10μm）后室溫固化，避免熱應力。
紫外膠：快速固定透明樣品，局部點膠后紫外照射≤30秒。
石蠟：臨時固定熱敏感樣品，加熱溫度控制在略高于熔點（如60℃）。
機械夾具設計
使用彈簧預緊夾具，扭矩控制在0.05~0.1Nm。
采用三點接觸結構，避免過約束；接觸頭用PTFE或橡膠緩沖。
三、安裝操作關鍵點
溫度管理
樣品與載物臺材料熱膨脹系數（CTE）需匹配，例如硅樣品搭配碳化鎢臺。
高溫實驗時，升溫速率≤5℃/min，避免熱沖擊。
力控安裝
使用微力傳感器（如1μN分辨率）監控壓力，全程施加力＜1mN。
分階段加壓：先輕觸確認接觸，再逐步增至目標壓力。
精準對位
激光干涉儀輔助調平，確保樣品傾斜角＜0.01°。
應變片實時反饋：貼于樣品非觀測面，監測安裝應變。
四、安裝后驗證
靜置松弛
安裝完成后靜置30~60分鐘，釋放膠粘劑或夾具的殘余應力。
動態測試
進行±10nm、1Hz的低幅掃描，檢查位移響應線性度。
顯微檢查
光學顯微鏡/AFM觀察樣品邊緣，確認無翹曲或裂紋。
五、特殊場景處理
生物樣品：嵌入1%~2%瓊脂糖凝膠，或采用負壓吸附（壓力≤1kPa）。
超高真空環境：用無揮發靜電夾持，或原位150℃低溫退火釋放應力。
六、常見錯誤規避
錯誤：直接按壓樣品對準 → 改正：用微調臺漸進逼近。
錯誤：膠水過量 → 改正：微量點膠配合局部固化。
錯誤：忽略振動 → 改正：鎖定位移臺并在隔震平臺上操作。