納米位移臺在同步掃描中的時間延遲如何補償？
納米位移臺在同步掃描中的時間延遲是一個常見但影響成像或測量精度的問題。它可能來自驅動器、控制系統、傳感器響應，或軟件處理延時。想要補償這類延遲，關鍵在于提前建模、預測響應并在控制邏輯中進行校正。下面是幾種常用方法：
1. 前饋補償（Feedforward Compensation）
這是直接的方式：
在控制指令發出時，加入預...
如何減少納米位移臺在高速移動中的慣性誤差？
減少納米位移臺在高速移動中產生的慣性誤差（如位置偏移、振動等）是提升系統精度和穩定性的關鍵。以下是一些有效的減少慣性誤差的方法：
1. 優化驅動系統的響應性
高響應性驅動器：選擇高響應性的驅動器，如伺服電機、步進電機、壓電驅動器等，這些驅動器能夠迅速反應并調整運動方向，從而減少慣性帶來的誤差。
精準控...
納米位移臺的動態范圍如何提高？
提高納米位移臺的動態范圍（即系統能夠精確控制和測量的位移范圍）是提升其性能的一個重要方面。動態范圍的提高通常意味著在保證高精度的同時，能夠處理更大范圍的位移。以下是一些常見的方法：
1. 優化反饋控制系統
精細化控制：通過優化閉環控制算法（如PID控制、模糊控制等），可以在小位移時保持高精度，同時保證在...
怎樣減少納米位移臺在高速運動時的振動？
減少納米位移臺在高速運動時的振動是保證其高精度、穩定性和可靠性的關鍵，尤其在進行精密成像、定位或掃描時。以下是一些減少振動的有效方法：
一、優化運動軌跡
平滑加速和減速
避免劇烈的加速和減速，因為這些變化容易引起瞬時高頻振動。
使用S型加速/減速曲線，逐漸調整速度，避免陡峭的加速階段，減少由于慣性帶來...
納米位移臺在長時間運行中會出現漂移嗎
納米位移臺在長時間運行中確實會出現漂移現象。這是高精度定位系統中的一個常見問題，尤其是在要求納米級穩定性的應用中（如掃描探針顯微鏡、曝光、光學對準等）。
一、什么是“漂移”？
“漂移”是指：
在沒有指令或控制信號變化的情況下，位移臺的輸出位置隨時間緩慢發生偏移。
它可能是幾納米/秒，也可能在數分鐘內累積到...
納米位移臺為什么在高速運動時會出現自激振蕩現象？
納米位移臺在高速運動時出現自激振蕩（self-excited oscillation），主要是因為系統的動態特性和反饋控制機制在高速度條件下激發了某些本征頻率或不穩定模態。
我們來詳細解釋一下其中的原理、原因，以及如何預防這種現象：
一、什么是自激振蕩？
自激振蕩是指：
系統內部由于結構特性或控制系統設計不當，在沒有外部周...